sluoksninė technologija

slúoksninė technòlogija, fizikinių ir cheminių procesų visuma, leidžianti ant kietųjų medžiagų paviršių sudaryti vienos ar kelių neorganinių ar organinių medžiagų sluoksnius bei jų darinius. Sluoksniai gaminami vakuume, dujinėje aplinkoje arba skystoje terpėje atskirus medžiagos atomus (jonus), molekules, t. p. susmulkintas medžiagos daleles nusodinant ant kristalinių ar amorfinių (pvz., stiklo, t. p. organinių medžiagų) padėklų. Pagal sudarymo būdą ir vykstančius procesus sluoksninė technologija esti fizinė (pvz., terminis medžiagos garinimas vakuume, molekulinių pluoštelių epitaksija, magnetroninis dulkinimas, garinimas veikiant medžiagą lazerio spinduliuote, įgreitintų elektronų ar jonų pluošteliais), cheminė (vykstant medžiagos atomų sąveikai su aplinka, pvz., SiO2 sluoksnio sudarymas ant Si, elektrocheminis dengimas vandeniniuose ar nevandeniniuose tirpaluose, cheminių ir metalų organinių junginių garų nusodinimas) ir mišrioji (pvz., plazmocheminis nusodinimas, medžiagos atomų nusodinimas užpurškiant ar užtepant organinėse ir neorganinėse terpėse ištirpintus ruošinius, iš kurių vėliau pašalinamas tirpiklis, rišančioji medžiaga ar lakieji skilimo produktai). Pagal pasirinktą sluoksninę technologiją ir gaminimo sąlygas sluoksniai būna plonieji (d ≤ 1μm) ir storieji (d ≥ 1μm), ištisiniai (amorfiniai, polikristaliniai, monokristaliniai) ir neištisiniai arba keraminiai (sudaryti iš chaotiškai viena su kita sulipusių medžiagos dalelių). Pasirinkus tinkamą sluoksninę technologiją iš metalų ir jų junginių gaminamos antikorozinės, šviesą atspindinčios bei elektrai laidžios dangos, iš skaidrių dielektrinių medžiagų – apsauginės, izoliacinės, t. p. įvairios paskirties optinės dangos bei prietaisai (interferenciniai ir spalvų šviesos filtrai, poliarizatoriai). Sluoksninės technologijos plačiai taikomos puslaidininkinių, šviesos diodų, tranzistorių, lazerių, saulės elementų, kineskopų, skystųjų kristalų monitorių, aukšto dažnio elektros grandinių, sudėtingų integrinių grandynų ir daugelio kitų elektroninių prietaisų gamyboje. Lietuvoje 20 a. 7–9 dešimtmetyje, įsteigus stambias elektroninės pramonės įmones (Ventos Vilniuje, Nuklono Šiauliuose, Ekrano Panevėžyje, Radijo matavimo prietaisų gamyklą Kaune), vyko sluoksninės technologijos plėtra. 21 a. pradžioje sluoksninės technologijos buvo plėtojamos ir kuriamos Kauno technologijos universitete (plazminio dengimo, magnetroninio dulkinimo ir kitos technologijos), Vilniaus universitete (metalų organinių junginių garų nusodinimo ir kitos technologijos), Fizinių ir technologijos mokslų centro Puslaidininkių fizikos institute (puslaidininkių, metalų bei metalų oksidų sluoksniai), Fizinių ir technologijos mokslų centro Chemijos institute (elektrocheminės dangos), Fizinių ir technologijos mokslų centro Fizikos institute (optinės dangos), taip pat kai kuriose kitose mokslo bei verslo įstaigose.

1813

Papildoma informacija
Turinys
Bendra informacija
Straipsnio informacija
Autorius (-iai)
Redaktorius (-iai)
Publikuota
Redaguota
Siūlykite savo nuotrauką